微小氣(qì)體流量(liàng)計,MF4001氣體(tǐ)流量計(ji)
産(chǎn)品簡介(jiè)：
FS4001系(xì)列小流(liú)量氣體(ti)質量流(liu)量傳感(gan)器是廣(guang)州迪川(chuan)儀器儀(yí)表有限(xian)公司專(zhuan)門爲各(ge)類小流(liú)量氣體(tǐ)的測量(liang)和過程(chéng)控制而(ér)設計的(de)。這❗一系(xi)列傳感(gan)器均采(cǎi)用本公(gōng)司自主(zhu)研發的(de)微機電(diàn)系統（
MEMS）流量(liàng)傳感芯(xin)片來制(zhi)作，适用(yòng)于各類(lei)清潔氣(qi)體。*的封(feng)裝技術(shu)使🈲之可(kě)用于各(gè)類管徑(jìng)，成本低(di)、易安裝(zhuāng)、不需要(yao)溫度壓(ya)力補償(chang)，可替代(dai)👣容積式(shi)或壓差(chà)式的傳(chuan)統流量(liang)傳感器(qi)。
産(chan)品特點(dian)：
微小氣(qì)體流量(liàng)計,MF4001氣體(ti)流量計(jì)
- ,有(yǒu)極小的(de)始動流(liu)量
- 傳感器(qi)芯片采(cai)用熱質(zhi)量流量(liàng)計量
,無需(xu)溫度壓(yā)力補償(cháng)
,保(bao)證了傳(chuán)
- 感(gǎn)器的高(gao)精度計(jì)量
- 在單個(ge)芯片上(shang)實現了(le)多傳感(gǎn)器集成(chéng)
,
- 傳感(gan)器的零(líng)點穩定(ding)度高
- 全量(liàng)程高穩(wěn)定性
- 全量(liang)程高精(jing)确度和(hé)優良的(de)重複性(xìng)
- 低(dī)功耗
- 低壓(ya)損
- 響應時(shí)間快
主要(yao)參數：
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FS4001 |
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1.0 |
mm |
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30, 100, 200 |
500, 1000 |
SLPM |
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量程(chéng)比 |
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精 度 |
±(1.5+0.2FS) |
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重複性(xing) |
%讀(du)數 |
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零點輸(shu)出飄移(yí) |
±30 |
mV |
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輸(shū)出飄移(yí) |
±0.12 |
%/oC |
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4, 8, 16, 33 , 65 , 131 |
mses |
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8~18Vdc,50mA |
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線(xian)性， RS232/模拟電(dian)壓 0.5~4.5Vdc |
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zui大流量(liang)壓損 |
350 |
300 |
pa |
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zui大工(gong)作壓力(lì) |
MPa |
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工(gōng)作溫度(du) |
oC |
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存(cún)儲溫度(du) |
-20 ~ +65 |
oC |
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工(gōng)作濕度(dù) |
<95%RH（無(wú)結冰、無(wú)凝露） |
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校準(zhǔn)方式 |
20oC， 101.325kPa |
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重量 |
15 |
g |
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訂貨(huo)詳情請(qing)： 85628522
86-020-31199948/85550363
86-020-85628533
