微小氣體流量計,MF4001氣體流量計-廣州迪川儀器儀表有限公司
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微小氣體流(liú)量計,MF4001氣體流量(liàng)計

産品簡介(jiè):
FS4001系列小流(liú)量氣體質量流(liú)量傳感器是廣(guang)州迪川儀器儀(yi)🏒表㊙️有限公司專(zhuan)門爲各類小流(liu)量氣體的測量(liang)和過程控制而(er)🔞設計的。這一系(xi)列傳感器均采(cǎi)用本公司自主(zhǔ)研發的微機電(dian)系統( MEMS)流量(liàng)傳感芯片來制(zhì)作,适用于各類(lei)清潔氣體。*的封(fēng)裝技術使之可(kě)用于各類管徑(jing),成本低、易安裝(zhuang)、不需要溫度壓(yā)力補償,可替代(dài)容積式或壓差(cha)式的傳統流量(liàng)傳感器。
産(chan)品特點:  微小氣(qi)體流量計,MF4001氣體(ti)流量計
  - 傳(chuan)感器靈敏度高(gao) ,有極小的(de)始動流量
  - 傳感器芯片采(cai)用熱質量流量(liang)計量 ,無需(xū)溫度壓力補償(chang) ,保證了傳(chuán)
  - 感器的高(gāo)精度計量
  - 在單個芯片上(shàng)實現了多傳感(gǎn)器集成 ,使(shi)傳感器的量程(chéng)比大大提高
  - 傳感器的零(líng)點穩定度高
  - 全量程高穩(wěn)定性
  - 全量(liang)程高精确度和(he)優良的重複性(xìng)
  - 低功耗
  - 低壓損
  - 響應時間快
主要參數:

通(tong)  

1.0

1.8

mm

zui大(dà)流量

30, 100, 200

500, 1000

SLPM

量程(cheng)比

2132132132131231312100:1

 

 

%

重複性(xìng)

0.25

%讀數

零點輸出飄移(yí)

±30

mV

輸出飄移(yi)

±0.12

%/oC

響應時間(jian)

4, 8, 16, 33 , 65 , 131

mses

工作電源(yuan)

輸出方式(shi)

線性, RS232/模拟電壓 0.5~4.5Vdc

 

zui大流量壓損

350

pa

存儲溫度(dù)

-20 ~ +65

oC

工作濕度(du)

<95%RH(無結冰、無(wú)凝露)

 

機械(xiè)接口

可拆(chāi)式軟管接頭

 

校準方式

空氣(或其他(tā)氣體), 20oC101.325kPa

重量

15

g

訂貨(huo)詳情請: 85628522

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