産品簡介(jiè):
FS4001系列小流(liú)量氣體質量流(liú)量傳感器是廣(guang)州迪川儀器儀(yi)🏒表㊙️有限公司專(zhuan)門爲各類小流(liu)量氣體的測量(liang)和過程控制而(er)🔞設計的。這一系(xi)列傳感器均采(cǎi)用本公司自主(zhǔ)研發的微機電(dian)系統(
MEMS
産(chan)品特點:
微小氣(qi)體流量計,MF4001氣體(ti)流量計
- 傳(chuan)感器靈敏度高(gao)
,有極小的(de)始動流量
- 傳感器芯片采(cai)用熱質量流量(liang)計量
,無需(xū)溫度壓力補償(chang)
,
- 感器的高(gāo)精度計量
- 在單個芯片上(shàng)實現了多傳感(gǎn)器集成
,使(shi)傳感器的量程(chéng)比大大提高
-
- 全量程高穩(wěn)定性
- 全量(liang)程高精确度和(he)優良的重複性(xìng)
- 低功耗
- 低壓損
- 響應時間快
主要參數:
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性能參數 |
單位 |
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通(tong) 徑 |
1.0 |
1.8 |
mm |
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30, 100, 200 |
500, 1000 |
SLPM |
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2132132132131231312100:1 |
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精 度 |
±(1.5+0.2FS) |
% |
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0.25 |
% |
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零點輸出飄移(yí) |
±30 |
mV |
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輸出飄移(yi) |
±0.12 |
%/oC |
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響應時間(jian) |
4, 8, 16, 33 , 65 , 131 |
mses |
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工作電源(yuan) |
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輸出方式(shi) |
線性, RS232/模拟電壓 0.5~4.5Vdc |
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zui大流量壓損 |
350 |
pa |
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zui大工作壓力(lì) |
0.5 |
MPa |
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-10 ~ +55 |
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存儲溫度(dù) |
-20 ~ +65 |
oC |
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工作濕度(du) |
<95%RH(無結冰、無(wú)凝露) |
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機械(xiè)接口 |
可拆(chāi)式軟管接頭 |
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校準方式 |
空氣(或其他(tā)氣體), 20oC, 101.325kPa |
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重量 |
15 |
g |
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訂貨(huo)詳情請: 85628522
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