mf4001廣東(dōng)微小口徑氣(qì)體質量流量(liàng)計

産品時間(jiān)：2025-12-21

簡要描述：

mf4001廣(guang)東微小口徑(jìng)氣體質量流(liu)量計是專門(men)爲各類小流(liu)量氣體的測(ce)量和過程控(kong)制而設計的(de)。這一系列傳(chuán)感器均🤞采用(yong)本公司自主(zhu)研發的微機(ji)電系統（MEMS）流量(liàng)傳感芯片來(lai)制作，适💛用于(yu)各類清潔氣(qi)體。*的封裝技(jì)術使之可用(yòng)于各類管徑(jìng)，成本低、易安(an)裝、不需要🈲溫(wen)度壓力補🤩償(chang)，可替代容積(ji)式或壓差式(shi)的傳統流量(liang)傳感器。

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mf4001廣東微小口(kǒu)徑氣體質量(liàng)流量計 産品特點：
- 傳感器靈(líng)敏度高 , 有極小的始(shi)動流量
- 傳感器芯片(piàn)采用熱質量(liàng)流量計量 , 無需溫度(dù)壓力補償 , 保證了傳(chuan)
- 感器的(de)高精度計量(liàng)
- 在單個(ge)芯片上實現(xian)了多傳感器(qi)集成 , 使(shi)傳感器的量(liàng)程比大大提(tí)高
- 傳感(gan)器的零點穩(wen)定度高
- 全量程高穩(wen)定性
- 全(quán)量程高精确(que)度和優良的(de)重複性
- 低功耗
- 低壓損
- 響應時間快(kuài)

mf4001廣東微小口(kǒu)徑氣體質量(liang)流量計 機械尺寸：

主要(yào)參數：

性能參(can)數	FS4001		單位
通徑(jìng)	1.0	1.8	mm
大流量	30, 100, 200	500, 1000	SLPM
量程(chéng)比	>100：1
精度	±(1.5+0.2FS)		%
重複(fú)性	0.25		%讀數
零點(dian)輸出飄移	±30		mV
輸(shū)出飄移	±0.12		%/oC
響應(yīng)時間	4, 8, 16, 33 , 65 , 131		mses
工作電(dian)源	8~18Vdc,50mA
輸出方式(shì)	線性，RS232/模拟電(diàn)壓0.5~4.5Vdc
大流量壓(yā)損	350	300	pa
大工作壓(ya)力	0.5		MPa
工作溫度(du)	-10 ~ +55		oC
存儲溫度	-20 ~ +65		oC
工(gong)作濕度	<95%RH（無結(jie)冰、無凝露）
機(ji)械接口	可拆(chai)式軟管接頭(tóu)
校準方式	空(kong)氣（或其他氣(qi)體），20oC，101.325kPa
重量	15		g

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