FS4001系(xì)列小流量氣(qi)體質量流量(liàng)傳感器

産品(pǐn)時間：2025-12-21

簡要描(miáo)述：

FS4001系列小流(liú)量氣體質量(liàng)流量傳感器(qi)是專門爲各(ge)類👅小流量氣(qi)體的測量和(hé)過程控制而(ér)設計的。這一(yī)系列傳感器(qi)均采💞用本公(gong)司💛自主研發(fā)的微機電系(xì)統🈲（MEMS）流量傳感(gan)芯片來制作(zuo)，适用于💔各類(lei)清潔氣體。*的(de)封裝技術使(shǐ)🐉之可用于各(gè)類管徑，成本(běn)低、易‼️安裝、不(bú)需🏃🏻要溫度壓(ya)力補償，可替(ti)代容積式或(huò)壓差式的傳(chuán)統流量傳感(gǎn)器。

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FS4001系列小(xiao)流量氣體質(zhi)量流量傳感(gǎn)器 是專門爲(wèi)各類小流量(liang)氣體的測量(liang)和過程控制(zhì)而設計😄的💃。這(zhe)一系列傳感(gǎn)器均采用本(ben)公司自主研(yan)發的微機電(diàn)系統（MEMS）流量傳(chuán)感芯片來制(zhi)作，适用于各(ge)類清潔氣體(ti)。*的封裝技術(shu)使之可用于(yú)各🛀類管徑，成(cheng)本低、易安裝(zhuang)、不需要溫度(du)壓力補償，可(kě)替代容積式(shi)或壓差式的(de)傳統流量傳(chuán)感💰器。

産品特(te)點：

FS4001系列(liè)小流量氣體(tǐ)質量流量傳(chuán)感器 靈敏度(du)高,有小的始(shi)動流量傳感(gan)器芯片采用(yòng)熱質量流💯量(liang)計量,無需溫(wen)度壓力補償(cháng),保證了傳感(gan)器的高精度(du)計量在單個(ge)芯片上實現(xiàn)了多傳感器(qi)集成,使傳感(gan)💃🏻器的量🌈程比(bǐ)大🌂大提高傳(chuán)感器的零點(dian)穩定度高全(quán)量程高穩定(dìng)性全量程高(gāo)精确度和優(yōu)良的重複性(xìng)低功耗低壓(ya)損響應時間(jian)快
主要參數(shu)：

性能參數	FS4001		單(dan)位
通徑	1.0	1.8	mm
大流(liú)量	30, 100, 200	500, 1000	SCCM
量程比	≥100:1
精(jing) 度	±(1.5+0.2FS)		%
重複性	0.25		%讀(dú)數
零點輸出(chū)飄移	±30		mV
輸出飄(piāo)移	±0.12		%/oC
響應時間(jiān)	4, 8, 16, 33 , 65 , 131		mses
工作電源	8~18Vdc,50mA
輸(shū)出方式	線性(xìng)，RS232/模拟電壓0.5~4.5Vdc
大(dà)流量壓損	350	300	pa
大(dà)工作壓力	0.5		MPa
工(gōng)作溫度	-10 ~ +55		oC
存儲(chu)溫度	-20 ~ +65		oC
工作濕(shī)度	<95%RH（無結冰、無(wu)凝露）
機械接(jie)口	可拆式軟(ruǎn)管接頭
校準(zhǔn)方式	空氣（或(huò)其他氣體），20oC，101.325kPa
重(zhong)量	15		g

機械尺寸(cun)：

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