微小氣(qì)體流量計FS4001

産(chǎn)品時間：2025-12-01

簡要(yào)描述：

微小氣(qì)體流量計FS4001專(zhuan)門爲各類小(xiǎo)流量氣體的(de)測量和過💋程(chéng)控制而設計(jì)的。這一系列(liè)傳感器均采(cǎi)用本公司自(zì)主研發的微(wei)機電系統（MEMS）流(liu)量傳感芯片(piàn)來制📧作，适用(yong)于各類清潔(jié)氣體。*的封裝(zhuāng)技術使之可(kě)用于各類管(guǎn)徑，成本低、易(yi)安裝、不需要(yao)溫度壓力補(bǔ)償，可替代容(róng)積式📐或壓差(cha)式的傳統流(liu)量傳感器。

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詳細介(jiè)紹

微小氣體(tǐ)流量計FS4001 産品簡介：
FS4001 系列小流(liú)量氣體質量(liàng)流量傳感器(qi)是廣州迪川(chuan)儀器😍儀❗表⁉️有(yǒu)限公司專門(men)爲各類小流(liu)量氣體的測(cè)量🔅和過程控(kong)制而💘設計的(de)。這一系列傳(chuán)感器均采用(yong)本🚶公司自主(zhǔ)研發的微機(ji)電系統（ MEMS ）流量傳感芯(xīn)片來制作，适(shì)用于各類清(qing)潔氣體。*的封(fēng)裝🔞技術‼️使之(zhi)可用于各類(lei)管徑，成本低(dī)、易安裝、不需(xu)💔要溫度壓力(li)補償，可替代(dai)容積式或壓(ya)差式的傳統(tong)流量傳感器(qì)。
微小氣體流(liú)量計FS4001 産(chan)品特點：
- 傳感器靈敏(min)度高 , 有(you)極小的始動(dòng)流量
- 傳(chuan)感器芯片采(cai)用熱質量流(liú)量計量 , 無需溫度壓(ya)力補償 , 保證了傳
- 感器的高(gāo)精度計量
- 在單個芯(xīn)片上實現了(le)多傳感器集(ji)成 , 使傳(chuan)感器的量程(chéng)比大大提高(gāo)
- 傳感器(qi)的零點穩定(ding)度高
- 全(quan)量程高穩定(dìng)性
- 全量(liang)程高精度和(he)優良的重複(fú)性
- 低功(gōng)耗
- 低壓(ya)損
- 響應(ying)時間快
主要(yao)參數： FS4001系列微(wei)小流量計

性能參數(shu)	FS4001		單位
通徑(jing)	1.0	1.8	mm
大流量(liang)	30, 100, 200	500, 1000	SLPM
量程比(bǐ)	2132132132131231312100:1
精度	±(1.5+0.2FS)		%
重複(fú)性	0.25		% 讀數(shu)
零點輸(shu)出飄移	±30		mV
輸出飄移	±0.12		%/oC
響應時間(jiān)	4, 8, 16, 33 , 65 , 131		mses
工作電(dian)源	8~18Vdc,50mA
輸出(chū)方式	線(xiàn)性， RS232/ 模拟(ni)電壓 0.5~4.5Vdc
大(dà)流量壓損	350	300	pa
大工作壓(yā)力	0.5		MPa
工作(zuò)溫度	-10 ~ +55		oC
存(cún)儲溫度	-20 ~ +65		oC
工作濕度	<95%RH （無結冰、無(wu)凝露）
機(ji)械接口	可拆式軟管(guǎn)接頭
校(xiào)準方式	空氣（或其他(tā)氣體）， 20oC ， 101.325kPa
重量	15		g

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