氣體檢(jiǎn)測/測漏(lòu)流量計(ji)

産品時(shi)間：2026-01-09

氣(qi)體檢測(ce)/測漏流(liú)量計傳(chuan)感器靈(líng)敏度高(gāo),有極小(xiao)的始動(dong)流量
- 傳(chuan)感器芯(xin)片采用(yong)熱質量(liang)流量計(jì)量,無需(xū)溫度壓(yā)力🔞補償(cháng),保證了(le)傳
- 感器(qi)的高精(jīng)度計量(liang)
- 在單個(ge)芯片上(shang)實現了(le)多傳感(gan)器集成(chéng),使傳感(gan)器的量(liang)程比大(dà)大提高(gāo)
- 傳感器(qì)的零點(dian)穩定度(dù)高全量(liàng)程高穩(wěn)定性

詳細(xi)介紹

氣(qi)體檢測(cè)/測漏流(liu)量計

産(chan)品簡介(jie)：
FS4001系列小(xiao)流量氣(qì)體質量(liàng)流量傳(chuán)感器是(shì)專門爲(wèi)各類✏️小(xiǎo)流量氣(qì)🏃‍♂️體的測(cè)量和過(guò)程控制(zhi)而設計(ji)的。這一(yī)系列傳(chuán)感器均(jun1)采用本(ben)公司自(zi)主研發(fa)的微機(jī)電系統(tong)（MEMS）流量傳(chuan)感芯片(pian)來制作(zuò)，适用于(yu)🌍各類清(qīng)潔氣體(tǐ)。*的封裝(zhuāng)技術使(shi)之可用(yong)于各類(lèi)管徑，成(chéng)本低、易(yi)安裝、不(bú)需🔴要溫(wēn)度壓力(li)補償，可(ke)替代容(róng)積式或(huò)壓差式(shì)的傳統(tong)⛹🏻‍♀️流量傳(chuán)感器。

氣(qì)體檢測(cè)/測漏流(liú)量計産(chǎn)品特點(diǎn)：
- 傳感器(qi)靈敏度(dù)高,有極(ji)小的始(shi)動流量(liàng)
- 傳感器(qi)芯片采(cǎi)用熱質(zhi)量流量(liang)計量,無(wú)需溫度(dù)壓力補(bǔ)償🤟,保證(zheng)了傳
- 感(gan)器的高(gao)精度計(jì)量
- 在單(dan)個芯片(pian)上實現(xiàn)了多傳(chuán)感器集(ji)成,使傳(chuán)感器的(de)量🥵程比(bi)🚶‍♀️大大提(tí)高
- 傳感(gǎn)器的零(líng)點穩定(dìng)度高
- 全(quan)量程高(gāo)穩定性(xing)
- 全量程(chéng)高精确(què)度和優(you)良的重(zhòng)複性
- 低(dī)功耗
- 低(di)壓損
- 響(xiang)應時間(jiān)快

主要(yao)參數：

性(xing)能參數(shù)	FS4001		單位
通(tong) 徑	1.0	1.8	mm
zui大流(liu)量	30, 100, 200	500, 1000	SLPM
量程(chéng)比	2132132132131231312100:1
精度(dù)	±（1.5+0.2FS）		%
重複性(xing)	0.25		%讀數
零(líng)點輸出(chū)飄移	±30		mV
輸(shu)出飄移(yi)	±0.12		%/oC
響應時(shí)間	4, 8, 16, 33 , 65 , 131		mses
工作(zuò)電源	8~18Vdc,50mA
輸(shu)出方式(shì)	線性，RS232/模(mó)拟電壓(ya)0.5~4.5Vdc
zui大流量(liang)壓損	350	300	pa
zui大(dà)工作壓(yā)力	0.5		MPa
工作(zuò)溫度	-10 ~ +55		oC
存(cún)儲溫度(du)	-20 ~ +65		oC
工作濕(shi)度	<95%RH（無結(jié)冰、無凝(níng)露）
機械(xie)接口	可(ke)拆式軟(ruǎn)管接頭(tóu)
校準方(fang)式	空氣(qi)（或其他(tā)氣體），20oC，101.325kPa
重(zhong)量	15		g