氣(qi)體檢測(cè)/測漏流(liú)量計傳(chuan)感器靈(líng)敏度高(gāo),有極小(xiǎo)的始動(dòng)流量🔅
- 傳(chuán)感器芯(xīn)片采用(yong)熱質量(liang)流量計(jì)量,無需(xu)溫度壓(ya)力補償(cháng),保證了(le)傳
- 感器(qì)的高精(jing)度計量(liang)
- 在單個(gè)芯片上(shàng)實現了(le)多傳感(gǎn)器集成(cheng),使傳感(gǎn)器的量(liang)程比大(da)大提高(gao)
- 傳感器(qì)的零點(dian)穩定度(dù)高 全量(liàng)程高穩(wen)定性
氣(qì)體檢測(cè)/測漏流(liu)量計
産(chan)品簡介(jie)：
FS4001系列小(xiǎo)流量氣(qi)體質量(liang)流量傳(chuan)感器是(shì)專門爲(wèi)各類小(xiǎo)流量氣(qì)體的測(ce)量和過(guò)程控制(zhì)而設計(jì)的。這一(yī)系✂️列傳(chuán)🌈感器均(jun1)采🚩用本(běn)公司自(zì)主研發(fā)的微機(ji)電系統(tǒng)👅（MEMS）流量傳(chuan)感芯片(pian)來制作(zuò)，适用于(yu)🌏各類清(qīng)潔氣體(tǐ)。*的封裝(zhuang)技術使(shǐ)之可用(yong)于各類(lei)管徑🙇🏻，成(cheng)本低、易(yì)安裝、不(bú)需要溫(wen)度壓力(lì)💘補償，可(ke)替代容(róng)積式或(huò)壓差式(shì)的傳統(tǒng)㊙️流量傳(chuán)感器。
氣(qi)體檢測(cè)/測漏流(liu)量計産(chǎn)品特點(diǎn)：
- 傳感器(qì)靈敏度(dù)高,有極(ji)小的始(shi)動流量(liang)
- 傳感器(qi)芯片采(cai)用熱質(zhì)量流量(liang)計量,無(wú)需溫度(du)壓力👌補(bǔ)償,保證(zhèng)了☎️傳
- 感(gǎn)器的高(gāo)精度計(ji)量
- 在單(dān)個芯片(pian)上實現(xian)了多傳(chuán)感器集(jí)成,使傳(chuán)感器的(de)量程比(bǐ)🌈大大提(ti)高
- 傳感(gan)器的零(ling)點穩定(dìng)度高
- 全(quan)量程高(gao)穩定性(xing)
- 全量程(chéng)高精确(que)度和優(yōu)良的重(zhòng)複性
- 低(dī)功耗
- 低(dī)壓損
- 響(xiǎng)應時間(jiān)快
主要(yào)參數：
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性(xìng)能參數(shu) |
FS4001 |
單位 |
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1.8 |
mm |
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zui大流(liu)量 |
30, 100, 200 |
SLPM |
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量程(chéng)比 |
2132132132131231312100:1 |
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精 度(dù) |
±（1.5+0.2FS） |
% |
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重複性(xìng) |
0.25 |
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零(ling)點輸出(chu)飄移 |
±30 |
mV |
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%/oC |
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響應時(shi)間 |
4, 8, 16, 33 , 65 , 131 |
mses |
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工作(zuò)電源 |
8~18Vdc,50mA |
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輸(shū)出方式(shi) |
線性，RS232/模(mo)拟電壓(yā)0.5~4.5Vdc |
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zui大流量(liàng)壓損 |
350 |
300 |
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zui大(dà)工作壓(ya)力 |
0.5 |
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工作(zuò)溫度 |
-10 ~ +55 |
oC |
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存(cun)儲溫度(du) |
-20 ~ +65 |
oC |
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工作濕(shī)度 |
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機械(xiè)接口 |
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校準方(fāng)式 |
空氣(qi)（或其他(ta)氣體），20oC，101.325kPa |
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重(zhòng)量 |
g |
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86-020-31199948/85550363
86-020-85628533
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