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氣(qì)體流量監測(cè)傳感器

産品(pin)時間:2025-12-01

簡要描(miao)述:

FS4001系列氣體(tǐ)流量監測傳(chuán)感器适用于(yú)各類清潔氣(qì)體。*的封裝技(jì)術使之可用(yòng)于各類管徑(jing),成本低、易安(an)裝、不需要溫(wēn)度壓力補償(chang),可替代容積(jī)式或壓差式(shì)的傳統流量(liang)傳感器。

FS4001系(xì)列 氣體流量(liang)監測傳感器(qi) 是專門(mén)爲各類小流(liu)量氣體的測(ce)量和過程控(kong)制而設計的(de)。這一系列傳(chuán)感器均采用(yòng)本公司自主(zhu)研發的微❄️機(jī)電🌈系統( MEMS )流量傳感芯(xin)片來制作。

FS4001系(xì)列 氣體流量(liang)監測傳感器(qi) 适用于(yú)各類清潔氣(qì)體。*的封裝技(jì)術使之可用(yòng)于各類管徑(jing),成本♉低、易安(an)裝、不需要溫(wen)度壓力補償(chang),可替代容積(jī)式或壓👄差式(shi)的傳統流量(liàng)傳感器。


産品特(tè)點:
  - 傳感(gan)器靈敏度高(gāo) , 有極小(xiao)的始動流量(liàng)
  - 傳感器(qì)芯片采用熱(re)質量流量計(jì)量 , 無需(xu)溫度壓力補(bǔ)償 , 保證(zheng)了傳
  - 感(gan)器的高精度(du)計量
  - 在(zai)單個芯片上(shang)實現了多傳(chuán)感器集成 , 使傳感器(qì)的量程比大(da)大提高
  - 傳感器的零(líng)點穩定度高(gāo)
  - 全量程(chéng)高穩定性
  - 全量程高(gao)精确度和優(you)良的重複性(xìng)
  - 低功耗(hào)
  - 低壓損(sun)
  - 響應時(shí)間快

機(ji)械尺寸:


主要參(can)數:

性能參數(shù)

FS4001

單位

大(da)流量

30, 100, 200

500, 1000

SLPM

量程比(bǐ)

>100:1

精 度

±(1.5+0.2FS)

零點輸(shu)出飄移

±30

mV

輸出(chu)飄移

±0.12

%/oC

響應時(shi)間

工作電源(yuán)

8~18Vdc,50mA

 

輸出方式

線(xian)性,RS232/模拟電壓(ya)0.5~4.5Vdc

 

大流量壓損(sǔn)

350

300

pa

0.5

MPa

工作溫度

-10 ~ +55

存(cun)儲溫度

-20 ~ +65

oC

工作(zuò)濕度

<95%RH(無結冰(bing)、無凝露)

 

機械(xie)接口

可拆式(shì)軟管接頭

 

校(xiào)準方式

空氣(qi)(或其他氣體(tǐ)),20oC,101.325kPa

 

重量

g

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