氣體流(liú)量監測(ce)傳感器(qì)

産品簡(jian)介：

FS4001系列(lie) 氣體流(liú)量監測(ce)傳感器(qì) 是(shi)專門爲(wei)各類小(xiao)流量氣(qi)體的測(ce)量和過(guò)程控制(zhi)而設計(jì)的💔。這㊙️一(yī)系列傳(chuan)感器均(jun)采用本(běn)公司自(zì)主研發(fa)的微機(ji)電🔴系統(tǒng)（ MEMS ）流(liu)量傳感(gan)芯片來(lai)制作。

FS4001系(xì)列 氣體(ti)流量監(jiān)測傳感(gan)器 适用于(yu)各類清(qing)潔氣體(ti)。*的封裝(zhuāng)技術使(shǐ)之可用(yong)于各類(lèi)🚩管徑，成(cheng)本低、易(yì)安裝、不(bu)需要溫(wen)度壓力(li)補償，可(ke)替代容(rong)積式或(huo)壓🔞差式(shi)的傳📞統(tong)流量傳(chuan)感器。

産品特(te)點：
  - 傳感器(qì)靈敏度(dù)高 , 有極小(xiao)的始動(dòng)流量
  - 傳感(gan)器芯片(piàn)采用熱(re)質量流(liu)量計量(liang) , 無(wú)需溫度(dù)壓力補(bǔ)償 , 保證了(le)傳
  - 感器的(de)高精度(du)計量
  - 在單(dān)個芯片(pian)上實現(xiàn)了多傳(chuán)感器集(jí)成 , 使傳感(gǎn)器的量(liang)程比大(dà)大提高(gao)
  - 傳(chuan)感器的(de)零點穩(wen)定度高(gāo)
  - 全(quan)量程高(gao)穩定性(xing)
  - 全(quán)量程高(gao)精确度(du)和優良(liang)的重複(fú)性
  - 低功耗(hào)
  - 低(di)壓損
  - 響應(ying)時間快(kuài)

機(ji)械尺寸(cun)：

主要(yao)參數：

性(xìng)能參數(shù)	FS4001		單位
通(tong) 徑	1.0	1.8	mm
大流(liú)量	30, 100, 200	500, 1000	SLPM
量程(cheng)比	>100：1
精 度(dù)	±(1.5+0.2FS)		%
重複性(xing)	0.25		%讀數
零(ling)點輸出(chū)飄移	±30		mV
輸(shū)出飄移(yi)	±0.12		%/oC
響應時(shi)間	4, 8, 16, 33 , 65 , 131		mses
工作(zuò)電源	8~18Vdc,50mA
輸(shū)出方式(shì)	線性，RS232/模(mo)拟電壓(ya)0.5~4.5Vdc
大流量(liang)壓損	350	300	pa
大(da)工作壓(ya)力	0.5		MPa
工作(zuò)溫度	-10 ~ +55		oC
存(cun)儲溫度(dù)	-20 ~ +65		oC
工作濕(shī)度	<95%RH（無結(jie)冰、無凝(ning)露）
機械(xie)接口	可(ke)拆式軟(ruǎn)管接頭(tou)
校準方(fang)式	空氣(qì)（或其他(ta)氣體），20oC，101.325kPa
重(zhòng)量	15		g