FS4001系列測量(liang)氣體流量傳(chuan)感器

産品時(shí)間：2025-12-01

簡要描述(shu)：

FS4001系列測量氣(qi)體流量傳感(gan)器是專門爲(wèi)各類小流量(liàng)氣體的測⛱️量(liang)📱和過程控制(zhì)而設計的。這(zhe)一系列傳感(gǎn)器均采用本(běn)公司自主研(yan)發的微機電(diàn)系統（MEMS）流量傳(chuan)感芯片來制(zhì)作，适用于✊各(gè)類清潔氣體(ti)。

詳細(xì)介紹

簡介：

FS4001系(xì)列測量氣體(ti)流量傳感器(qì) 是專門(mén)爲各類小流(liú)量氣體的測(cè)量和過程控(kòng)制而設計的(de)。這一系列傳(chuán)感器均采用(yong)本公司自主(zhu)研發的微機(ji)電系統（ MEMS ）流量傳感芯(xīn)片來制作。

FS4001系(xi)列測量氣體(ti)流量傳感器(qi) 适用于(yú)各類清潔氣(qi)體。*的封裝技(ji)術使之可用(yòng)于各🌐類管🏃🏻‍♂️徑(jìng)，成本低、易安(an)裝、不需要溫(wen)度壓力補償(cháng)，可替㊙️代容積(ji)式或壓差式(shì)👄的傳☂️統流量(liàng)傳感器。

産品特(tè)點：
- 傳感(gǎn)器靈敏度高(gāo) , 有極小(xiǎo)的始動流量(liàng)
- 傳感器(qì)芯片采用熱(rè)質量流量計(jì)量 , 無需(xū)溫度壓力補(bu)償 , 保證(zheng)了傳
- 感(gan)器的高精度(dù)計量
- 在(zài)單個芯片上(shàng)實現了多傳(chuan)感器集成 , 使傳感器(qi)的量程比大(dà)大提高
- 傳感器的零(líng)點穩定度高(gāo)
- 全量程(chéng)高穩定性
- 全量程高(gao)精确度和優(you)良的重複性(xìng)
- 低功耗(hao)
- 低壓損(sun)
- 響應時(shi)間快
主(zhǔ)要參數：

性能(neng)參數	FS4001		單位
通(tong) 徑	1.0	1.8	mm
大流量	30, 100, 200	500, 1000	SLPM
量(liàng)程比	>100：1
精度	±(1.5+0.2FS)		%
重(zhòng)複性	0.25		%讀數
零(ling)點輸出飄移(yí)	±30		mV
輸出飄移	±0.12		%/oC
響(xiang)應時間	4, 8, 16, 33 , 65 , 131		mses
工作(zuo)電源	8~18Vdc,50mA
輸出方(fāng)式	線性，RS232/模拟(nǐ)電壓0.5~4.5Vdc
大流量(liàng)壓損	350	300	pa
大工作(zuo)壓力	0.5		MPa
工作溫(wen)度	-10 ~ +55		oC
存儲溫度(dù)	-20 ~ +65		oC
工作濕度	<95%RH（無(wu)結冰、無凝露(lù)）
機械接口	可(ke)拆式軟管接(jie)頭
校準方式(shì)	空氣（或其他(ta)氣體），20oC，101.325kPa
重量	15		g

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