MF4008微電(diàn)子氣體(ti)質量流(liú)量計
MF4008微(wēi)電子氣(qi)體質量(liàng)流量計(ji)
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MF4003 |
單(dān)位 |
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通 徑(jing) |
3 |
8 |
mm |
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大流量(liàng) |
2, 3, 4, 5 |
10, 20, 30, 40, 50 |
SLPM |
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100:1 |
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精 度 |
% |
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重(zhong)複性 |
0.75 |
% |
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零(ling)點輸出(chū)飄移 |
±30 |
mV |
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輸(shū)出飄移(yi) |
%/°C |
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響應時(shí)間 |
100(默認(ren),50,100,200,500,1000可設置(zhi)) |
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工作電(diàn)源 |
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輸出(chu)方式 |
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指示單(dān)位 |
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顯示分(fèn)辨率 |
0.001,0.01,0.1可(kě)設置 |
0.01,0.1可(kě)設置 |
SLPM |
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大(da)流量壓(yā)損 |
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600 |
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大工(gong)作壓力(lì) |
MPa |
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工作溫(wen)度 |
-10 ~ +55 |
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存儲(chu)溫度 |
-20 ~ +65 |
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工(gong)作濕度(du) |
<95(無結冰(bing)、無凝露(lu)) |
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機械接(jiē)口 |
BSPT1/4(R1/4),4mm/6mm/8mm快速(sù)接頭 |
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鍵(jiàn)盤 |
三個(gè)按鍵 |
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标(biāo)準校準(zhǔn)氣體 |
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重量 |
57(帶(dai)R1/4,)
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g |
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