流量測(ce)量技術之 微小流量(liang) 的測量(liang)     
半導體(ti)制造業、生物(wu)工程、精細化(huà)工等的興起(qi)，使流量測量(liang)🍉向低⛱️端延伸(shen)，小流量計流(liu)量的要求在(zài)上世紀 80 ∽ 90 年代凸(tu)顯起來。何謂(wèi)小流量 ? 業界尚無*的(de)定義和界限(xiàn)，小流量因應(yīng)用領域而異(yì)是一個模糊(hu)的概念。管道(dao)小流量測量(liang)體現于管徑(jing)小和❗流速✔️低(di)兩個層次，就(jiù)流程工業而(er)言，習慣上 DN10 甚至 DN15 以下管徑流(liu)量測量稱之(zhī)小流量測量(liàng)，通常其流量(liang)♈值🈲液體爲 1L/min 或 0.06m3/h 以(yǐ)下，流量儀表(biǎo)滿度流量時(shí)的流速低于(yu) 0.1m/s 。
1 、測(ce)量方法
傳統小流量(liàng)測量技術節(jie)流差壓 ( 層流 ) 法(fa)、浮子法和容(róng)積法等有了(le)的改進，新測(ce)量技術如超(chāo)聲法、熱法🏃、科(ke)裏奧利法等(děng)也有成效地(di)應于液體和(he)氣體小流量(liang)🤩測量🌈。
2 、特(tè)點
微小(xiǎo)流量與一般(ban)流量測量相(xiang)比較，具有以(yi)下特點。
1) 雷諾數低
一般管道(dào)流動均爲紊(wen)流流動，流量(liàng)儀表也是針(zhēn)對紊流流😘動(dong)态設計的，而(er)小流量儀表(biǎo)因管徑小常(cháng)處于層流流(liú)動 ( 例如(rú)管内徑 6mm ，流量 0.05L/min ， Re 爲 1800 或(huò)層流 / 紊(wen)流過渡區流(liú)态流動，小流(liu)量測量受使(shǐ)用中流體黏(nian)度變🏃化影響(xiang)頗大。
2) 要(yao)用實際使用(yòng)流體校準
液體流量(liang)儀表一般用(yong)水校準，氣體(ti)用空氣校準(zhǔn)。若知道實際(jì)測✨量流體與(yu)校準流體間(jiān)某些物性不(bu)同對示值有(yǒu)🐅規律變化時(shí)，中💋大管徑流(liu)量儀表常以(yǐ)适💋當系數修(xiū)正。但有些小(xiao)✏️流量儀表受(shou)黏度等流體(tǐ)物⭕性影響大(da)，須以實際使(shi)用流體校準(zhǔn)。所幸流量小(xiǎo)，用實際使用(yong)流體校準難(nan)度不大，但在(zài)作有害性流(liú)體校準時應(ying)注意安全和(hé)環境污染。
3) 要求測量(liàng)時防止污染(ran)流體
若(ruo)測量潔淨氣(qi)體和純水常(chang)不允許接觸(chù)流體的儀表(biǎo)零件材料析(xi)出離子，例如(ru)半導體制備(bèi)中儀表不能(neng)用金屬和玻(bo)璃制成，隻能(neng)用塑料。流體(tǐ)中也不允✍️許(xu)混入活動件(jian)🔱的磨蝕塵粒(li)。流量儀表🏃🏻流(liú)通通道要盡(jin)可能簡單，不(bu)應有潴留 ( 指液體在(zai)體内不正常(cháng)地聚集停留(liu) ) 部位，防(fang)止潴留介質(zhi)變質。
4) 氣(qì)泡和塵埃附(fu)着的影響
因管徑小(xiǎo)黏性增加，液(ye)體中微細氣(qi)泡易在管系(xì)流動過程中(zhong)👉積❤️聚變大，使(shǐ)測量時指示(shi)不穩，度下降(jiàng)。流👄體中🔞塵埃(āi)附着🔴測量元(yuan)件也要影響(xiǎng)測量值，例如(ru)浮子流量✉️計(ji)的浮子上沉(chén)積有肉眼覺(jiao)察不出的附(fu)着層也會影(yǐng)響示值。
5) 流量儀表品(pǐn)種使用上受(shou)到一定限制(zhì)
在衆多(duo)測量原理流(liú)量儀表中，因(yīn)各種原因小(xiao)流量🈲應🌈用受(shòu)⭐到一些限制(zhi)，當前能應用(yong)于小流量的(de)品種如表格(gé)所示